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国家知识产权局信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司取得一项名为“一种研磨器单元及化学机械研磨设备”的专利，授权公告号CN 223572861 U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种研磨器单元及化学机械研磨设备，该研磨器单元包括：研磨盘；研磨基座；研磨基座包括电磁线圈；研磨盘在电磁线圈通电产生磁吸力时，被吸引与研磨基座接触连接；研磨盘在电磁线圈断电，磁吸力消失后与研磨基座断开连接。本申请实施例中，通过在研磨基座中设置电磁线圈，并基于电磁线圈通电产生磁吸力、断电无磁吸力，实现研磨盘和研磨基座的接触连接与断开连接，从而使研磨盘的更换操作更省时省力。
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