本文源自:市场资讯
国家知识产权局信息显示，深圳市八零联合装备有限公司申请一项名为“一种多层复合式气囊研磨装置、研磨设备及研磨方法”的专利，公开号CN 121004540 A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种多层复合式气囊研磨装置、研磨设备及研磨方法，多层复合式气囊研磨装置包括旋转板、支撑板、调节板及研磨板，旋转板包括第一旋转面和第二旋转面，第一旋转面设置有压电薄膜传感器，第二旋转面传动连接有支撑板，支撑板一侧设置有通气开合阀支撑板通过支撑柱连接有调节板，调节板通过气囊连接有研磨板；根据压电薄膜传感器实时监控研磨板和基板的接触所产生的压力，通过模糊PI D计算推算出气囊所需的气压值，从而打开和关闭通气开合阀，控制气泵对气囊进行增压或减压，来增大和减小研磨板对基板的压力，直至曲面的基板完全磨平，从而实现对基板的磨平，同时实现实时监控研磨状态的效果。
天眼查资料显示，深圳市八零联合装备有限公司，成立于2011年，位于深圳市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3001万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市八零联合装备有限公司参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息167条，此外企业还拥有行政许可14个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
