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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于处理控制的工具内音频和视觉行为监控”的专利，公开号CN121013778A，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本文所提供的本公开的实施例包括一种用于对化学机械研磨系统进行更高效且有效的工具内监控的设备及方法。研磨设备包括耦接至至少一个摄影机的控制器。控制器被配置成自至少一个摄影机接收介质数据串流，将介质数据串流处理成经处理的介质数据，并基于经处理的介质数据来检测研磨设备中的异常。一种监控研磨设备的方法包括接收影像或音频数据串流，处理数据串流，接收后续的影像或音频数据串流，及比较第二组经处理的数据与第一组经处理的数据。
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