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华索科技取得晶圆加工用自动研磨装置专利,实现晶圆的自动化搬运和逐步研磨减薄

信息来源:eooaoo.com   时间: 2026-03-15  浏览次数:36


本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,华索(苏州)科技有限公司取得一项名为“一种晶圆加工用自动研磨装置”的专利,授权公告号CN223589093U,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本实用新型涉及公开了一种晶圆加工用自动研磨装置,包括工作台,工作台上转动安装有集成组合转盘系,集成组合转盘系包括大转盘和四个小转盘,四个小转盘均匀分布转动安装于大转盘上;该晶圆加工用自动研磨装置,通过机械手臂一、机械手臂二、机械手臂三配合集成组合转盘系,可以实现晶圆的自动化搬运和逐步研磨减薄,并配合真空吸盘对晶圆贴合的吸引连接,使得晶圆在粗磨、精磨和抛光的逐一减薄过程中,省去拆卸和定位安装的过程,也避免了晶圆在粗磨、精磨和抛光磨片过程中,严重翘曲使表面损伤扩大甚至破裂的风险。

天眼查资料显示,华索(苏州)科技有限公司,成立于2020年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,华索(苏州)科技有限公司共对外投资了2家企业,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可5个。

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