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国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“供给装置及化学机械研磨设备”的专利，授权公告号CN223617508U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开一种供给装置及化学机械研磨设备，供给装置包括支撑臂、用于提供研磨液的供给管、以及可拆卸地装配于支撑臂上的转接头；其中，转接头具有一个进液口和多个出液孔，进液口连接供给管，出液孔连通进液口，出液孔用于朝向化学机械研磨设备的研磨垫，以使从进液口流入的研磨液经多个出液孔流出后落在研磨垫上。提高研磨液分散于研磨垫上的均匀度；且在转接头出现研磨液结晶时，可以将转接头拆卸下来，便于对转接头进行清洗。
天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息76条，此外企业还拥有行政许可215个。
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