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福建安溪 蓝宝石衬底项目获5000万补贴

信息来源:eooaoo.com  时间:2013-07-03  浏览次数:2070

7月1号晚间报道,根据安溪县政府加快培育高新技术新兴产业集群的目标要求,促进安溪县LED光电产业链的发展,拟对公司蓝宝石衬底项目拨付“科技三项”财政补贴资金5000万元。目前该款项已收到。
  对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底:蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(Sic)。
  通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。蓝宝石的硬度非常高,在自然材料中其硬度仅次于金刚石,但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割(从400μm减到100μm左右)。
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