国内首台全自动砂轮划片机通过鉴定
信息来源：eooaoo.com 时间： 2013-06-24 浏览次数：2425
国机械工业集团公司(简称国机集团)所属沈阳仪表院2013年5月31日发布消息称，公司 “12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”通过了沈阳市科技局科技成果鉴定。 项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2μm/310mm，主轴最高转速41000r/min。申请国家发明专利3项以上，实用新型专利4项以上，取得了一批具有自主知识产权研究成果，填补了国内空白，整体技术水平达到国际先进水平，形成了相应技术规范标准。项目研发成功为提升我国IC(集成电路)装备技术水平档次、提高国内外市场竞争力市场占有率，满足我国IC装备需求将起到重要推进作用。
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