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国内首台全自动砂轮划片机通过鉴定

信息来源:eooaoo.com  时间:2013-06-24  浏览次数:1939

国机械工业集团公司(简称国机集团)所属沈阳仪表院2013年5月31日发布消息称,公司 “12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”通过了沈阳市科技局科技成果鉴定。 项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2μm/310mm,主轴最高转速41000r/min。申请国家发明专利3项以上,实用新型专利4项以上,取得了一批具有自主知识产权研究成果,填补了国内空白,整体技术水平达到国际先进水平,形成了相应技术规范标准。项目研发成功为提升我国IC(集成电路)装备技术水平档次、提高国内外市场竞争力市场占有率,满足我国IC装备需求将起到重要推进作用。
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